Издательский дом СПЕКТР

Содержание книги Бабаджанов Л.С., Бабаджанова М.Л.  Метрологическое обеспечение измерений толщины покрытий. Теория и практика

Введение

Глава 1. Основные понятия метрологического обеспечения измерений толщины пкрытий
1.1. Основные понятия метрологии
1.2. Термины и определения в области измерений толщины покрытий
1.3. Особенности, цели и содержание метрологического обеспечения измерений толщины покрытий
1.4. Виды покрытий и их классификация
1.5. Материалы покрытий и оснований, диапазоны толщин и требуемая точность измерений
1.6. Толщина как основной параметр качества покрытий

Глава 2. Методы и средства измерений толщины покрытий
2.1. Особенности методов и средств измерений толщины покрытий
2.2. Влияющие величины при измерении толщины покрытий и их классификация
2.3. Классификация методов измерений толщины покрытий
2.4. Современный уровень развития толщиномеров покрытий
2.5. Особенности настройки и поверки толщиномеров покрытий

Глава 3. Исследование понятия "толщина покрытия"
3.1. Функциональный характер толщины покрытия
3.2. Физические модели покрытия
3.3. Математические модели толщины покрытия
3.4. Методика оценки толщины покрытия на параметрической модели
3.5. Распределение толщины покрытия на параметрической модели с детерминированным профилем
3.6. Распределение толщины покрытия на параметрической модели и натурном образце со случайным профилем
3.7. Аналитическое исследование формальной модели толщины покрытия

Глава 4. Принципы и средства воспроизведения размера толщины покрытий
4.1. Меры толщины покрытий и их разновидности
4.2. Информативные параметры мер толщины покрытий и их воспроизведение
4.3. Принципиальные схемы измерений толщины покрытий на натуральных мерах
4.4. Принципы передачи размера толщены покрытий
4.4.1.Оптимизация схемы передачи толщены покрытий
4.4.2. Классификация материалов покрытий и оснований мер толщины покрытий
4.5. Выбор метрологических характеристик мер толщины покрытия
4.5.1. Выбор материалов мер
4.5.2. Выбор характеристик наборов мер толщины покрытий
4.5.3. Способ установления номенклатуры рабочих мер толщины покрытий
4.5.4. Способ установления равных интервалов поверки мер толщины покрытий
4.5.5.Меры толщины полупроводниковых покрытий
4.5.6. Меры толщины металлических покрытий на металлических основаниях
4.5.7. Меры толщины диэлектрических покрытий
4.5.8. Меры толщины металлических покрытий трубчатые
4.5.9. Комбинированный набор мер толщины покрытий для магнитных толщиномеров
4.5.10. Меры толщины особо тонких покрытий и их измерение способом совмещения профилограмм
4.5.11. Методика определения характеристик специального набора мер толщины покрытий

Глава 5. Исходные средства для воспроизведения и передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий
5.1. Абсолютный интерференционный метод
5.2. Принципиальная схема лазерного интерференционного толщиномера покрытий
5.3. Влияющие величины и дополнительные погрешности измерений лазерным интерференционным толщиномером покрытий

Глава 6. Средства измерений мер толщины покрытий
6.1. Установка для измерений мер контактным и бесконтактным (пневматическим) методами
6.2. Профилографический метод и средство измерения мер толщины покрытий
6.3. Топографический метод измерения мер толщины покрытий
6.4. Интерференционный метод и устройство для измерения мер толщины покрытий

Глава 7. Средства поверки и испытаний толщиномеров покрытий
7.1. Компараторы для поверки толщиномеров покрытий
7.2. Имитаторы толщины покрытий
7.3. Алгоритмические и безэталонные методы поверки
7.4. Комплект средств для испытаний толщиномеров покрытий

Глава 8. Поверочная схема для толщиномеров покрытий
8.1. Обзор схем передачи размера единицы длины толщиномерам покрытий
8.2. Государственная поверочная схема для средств измерений толщины покрытий

Глава 9. Стандартизация и нормативно-методические документы
9.1. Стандартизация в области измерений толщины покрытий
9.2. Нормативные документы
9.3. Расчетно-экспериментальный способ измерений мер толщины покрытий
9.4. Способы определения толщины покрытий на шероховатых поверхностях
9.5. Способ оценки систематических погрешностей измерения толщины покрытий моделированием

Заключение
Список принятых обозначений
Литература

   назад